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| 型号 | EC500B | EC300B | EC100 |
| 转速（50/60Hz） | 1400转/分/1700转/分 | ||
| 真空表 | 波登管 | ||
| 腔室直径/摆动架 | φ410mm・4个机架 | φ350mm・2个机架 | φ247mm・2个机架 |
| 盖子锁定机制 | 是的 | 没有任何 | |
| 加热器温度 | 关闭/30℃～70℃ | ||
| 定时器 | 99 小时 59 分钟（可保持） | 6 小时（可保留） | |
| 阀门的开启和关闭 | 自动（定时联动） | ||
| 尺寸（毫米） | 宽460×深530×高480 | 宽400×深400×高420 | 宽325×深325×高380 |
| 重量 | 40公斤 | 24.5公斤 | 20.5公斤 |
| 电源 | 100V 3A | 100V 2A | |
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